BD半岛·体育证券之星消息,根据企查查数据显示芯联集成(688469)新获得一项发明专利授权,专利名为“金属薄膜的制造方法及半导体器件的制造方法”,专利申请号为CN9.0,授权日为2024年6月14日。
专利摘要:本发明提供了一种金属薄膜的制造方法及半导体器件的制造方法,所述金属薄膜的制造方法包括:提供一衬底;执行第一温度成膜工艺,以形成第一金属薄膜于所述衬底上;以及,执行第二温度成膜工艺,以形成第二金属薄膜于所述第一金属薄膜上,所述第二温度高于所述第一温度,所述第一金属薄膜和所述第二金属薄膜构成的金属薄膜为掺铜铝膜。本发明的技术方案能够避免金属薄膜出现铜析出的问题,从而避免导致对金属薄膜刻蚀时出现刻蚀残留。
今年以来芯联集成新获得专利授权40个,较去年同期增加了37.93%。结合公司2023年年报财务数据半岛官网,2023年公司在研发方面投入了15.29亿元,同比增82.25%。
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