半岛聚焦离子双束显微镜（FIB-SEM）

　　BD半岛·体育聚焦离子束(Focused Ion Beam，FIB)与扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope半岛，SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后，通过结合相应的气体沉积装置，纳米操纵仪，各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展至材料科学、生命科学和地质学等众多领域。

　　使用FIB可以切一样品薄片厚度（30-50nm），取出以后半岛，然后用带有EDS/EELS探测器的TEM/STEM对其成像同时测量其化学性质。

　　Helios NanoLab 450S是高通量、高分辨率TEM制样、成像和分析的理想选择。

　　其独有的可翻转样品台和原位STEM探测器可以在几秒钟内从制样模式翻转到样品成像模式，且无需破真空或将样品暴露在环境中。

　　超高分辨率聚焦离子束扫描电子显微镜，可进行高质量样品制备和3D表征。通过将Scios 2 DualBeam的最新技术创新与可选配的、易使用的、全面的 Thermo Scientific AutoTEM 4软件以及赛默飞世尔科技的应用专业知识相结合，可快速方便地制备用于多种材料的现场指定高分辨率 S/TEM样品。

　　为方便客户对材料进行深入的失效分析及研究，金鉴实验室现推出Dual Beam FIB-SEM业务，并介绍Dual Beam FIB-SEM在材料科学领域的一些典型应用，包括透射电镜( TEM)样品制备，材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积以及材料三维成像及分析等。

　　SEM仅能观察材料表面信息，聚焦离子束的加入可以对材料纵向加工观察材料内部形貌半岛，通过对膜层内部厚度监控以及对缺陷失效分析改善产品工艺，从根部解决产品失效问题。

　　利用FIB对键合线进行截面制样，不仅可以观察到截面晶格形貌，还可掌控镀层结构与厚度。

　　金鉴实验室FIB-SEM产品工艺异常或调整后通过FIB获取膜层剖面对各膜层检查以及厚度的测量检测工艺稳定性。

　　利用FIB切割支架镀层，避免了传统切片模式导致的金属延展、碎屑填充半岛、厚度偏差大的弊端，高分辨率的电镜下，镀层晶格形貌、内部缺陷一览无遗。

　　FIB-SEM扫描电镜下观察支架镀层截面形貌，镀层界限明显、结构及晶格形貌清晰，尺寸测量准确。此款支架在常规镀镍层上方镀铜，普通制样方法极其容易忽略此层结构，轻则造成判断失误，重则造成责任纠纷，经济损失！

　　FIB-SEM扫描电镜下观察支架镀层截面形貌。此款支架在镀铜层下方镀有约30纳米的镍层，在FIB-SEM下依然清晰可测！内部结构、基材或镀层的晶格、镀层缺陷清晰明了，给客户和供应商解决争论焦点，减少复测次数与支出。

　　利用电子束或离子束将金属有机气体化合物分解，从而可在样品的特定区域进行材料沉积。本系统沉积的材料为Pt，沉积的图形有点阵，直线等，利用系统沉积金属材料的功能，可对器件电路进行相应的修改，更改电路功能。

　　寄样地址：广东金鉴实验室科技有限公司半岛，广州市增城区宁西街香山大道2号金鉴实验室。

　　失效分析、可靠性、AEC-Q102认证、FIB-TEM、近场光学金鉴陶工：（微信同号）

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