半岛·体育中国官方网站平台登陆韩国半导体大厂相继开启氖气回收计划 回收率超70%

　　BD半岛·体育《科创板日报》15日讯，据韩国业界消息半岛·体育中国官方网站平台登陆，韩国半导体巨头三星电子半岛·体育中国官方网站平台登陆、SK海力士正利用氖气回收技术半岛·体育中国官方网站平台登陆，以实现可持续发展半岛·体育中国官方网站平台登陆，并降低成本半岛·体育中国官方网站平台登陆、减轻供应风险。SK海力士近日宣布与韩国气体供应商TEMC合作，在氖气回收方面取得突破。三星电子也紧随其后，计划在2025年将氖气回收技术整合到其制造工艺当中。氖气用于半导体光刻中激发激光，通过利用装置收集废气，SK海力士与TEMC实现了72.7%的氖气回收率，并计划将效率进一步提升至77%。